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四管擴(kuò)散爐
來自青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
¥1.00
發(fā)布時(shí)間  2021-12-15 10:29:56 關(guān)注次數(shù)  
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
免費(fèi)會(huì)員 12年
商家供應(yīng)
圖文介紹 產(chǎn)品參數(shù) 供應(yīng)商信息
◆工作溫度：300~1300℃?
??◆有效口徑根據(jù)用戶擴(kuò)散片確定，可訂制?
??◆恒溫區(qū)長度：1080mm（可根據(jù)用戶要求定制）?
??◆溫區(qū)精度（靜態(tài)閉管測(cè)試）：?
??600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃?
??300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃?
??◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性（靜態(tài)閉管測(cè)試）：?
??600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃/24h?
??300℃≤工作溫度≤600℃：±1℃/24h?
??◆溫度斜變能力：?
??可控升溫速度（300～1300℃）：15℃/min?
??降溫速度（1300～900℃）：5℃/min?
??◆氣體流量設(shè)定精度：±2％FS?
??◆氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PA.m3/s?
??◆自動(dòng)送料裝置行程：~2000mm?
??速度：5~1000mm/min?
??SiC漿承重 19kg?
??◆裝片數(shù)量 400片/管?
??◆凈化臺(tái)潔凈度 100級(jí)（10000級(jí)廠房）?
??◆三相五線制 380V±10%，50Hz±10%Hz；?
??◆冷卻水：2～4Kgf/cm2，～8L/min?
品牌其他
型號(hào)定制
類型定制
加工定制是
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司
  • 公司類型私營獨(dú)資企業(yè)
  • 經(jīng)營模式生產(chǎn)加工-私營獨(dú)資企業(yè)
  • 聯(lián)系人岳曉茜
  • 聯(lián)系手機(jī)15314229122
  • 聯(lián)系固話0532-68017154
  • 公司地址青島市城陽區(qū)北萬工業(yè)園6號(hào)
主營業(yè)務(wù)
擴(kuò)散爐.鏈?zhǔn)綘t.隧道爐.馬弗爐.爐體
青島福潤德微電子設(shè)備有限公司是一家集控制技術(shù)、真空技術(shù)、熱工技術(shù)為一體的高新技術(shù)企業(yè)。目前的主要產(chǎn)品有兩大類（一）半導(dǎo)體專用設(shè)備：太陽能擴(kuò)散爐、程控高低溫?cái)U(kuò)散爐、微控高低溫?cái)U(kuò)散爐、低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備，真空燒結(jié)爐、氫氣爐、鏈?zhǔn)綗Y(jié)爐、隧道爐、LED專用合金爐、LED專用交換爐、高精度智能溫度控制儀和替代進(jìn)口的擴(kuò)散爐爐體， 同時(shí)承接各種微電子生產(chǎn)線及進(jìn)口半導(dǎo)體專用設(shè)備的翻新改造工作。
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