產(chǎn)品詳情
Aerotech ANT-25L/-50L納米精度直線電機平臺1.可以組合成X,XY,XYZ及其他組合方式的產(chǎn)品2.使用Automation3200可以實現(xiàn)2.5nm的直線分辨率3.交鑰匙的驅(qū)動和控制系統(tǒng)4.非接觸，非接頭效應(yīng)，直接驅(qū)動5.超安靜直線伺服電機驅(qū)動6.高速，實時軸校準(zhǔn)
行程25mm-50mm精度±0.3um負(fù)載5.0kg
ANT130-L-Z系列納米垂直平移臺1.大行程實現(xiàn)納米定位2.高分辨率（2納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（300納米）3.2納米的位置穩(wěn)定性4.抗爬行十字交叉滾珠軸承5.高動態(tài)特性
ANT95-L系列納米平移臺1.實現(xiàn)大行程納米定位2.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）3.1納米的位置穩(wěn)定性4.抗爬行十字交叉滾珠軸承5.高動態(tài)特性
ANT95-XY系列雙軸納米平移臺1.結(jié)構(gòu)緊湊25mm*25mm或50mm*50mm行程2.實現(xiàn)大行程納米定位3.高分辨率（1納米），重復(fù)定位精度（75納米），定位精度（250納米）4.1納米的位置穩(wěn)定性5.抗爬行十字交叉滾珠軸承6.高動態(tài)特性
ANT-LX納米精度交叉滾軸平臺1.可以組合成X,XY,XYZ及其他組合方式的產(chǎn)品2.使用Automation3200可以實現(xiàn)2.5nm的直線分辨率3.交鑰匙的驅(qū)動和控制系統(tǒng)4.非接觸，非接頭，直接驅(qū)動5.超安靜直線伺服電機驅(qū)動6.高速，實時軸校準(zhǔn)行程50mm精度±0.3um負(fù)載8.0kg
