產(chǎn)品詳情
萊寶真空泵在半導(dǎo)體工業(yè)中的關(guān)鍵作用：工藝革新與先進(jìn)制程的真空解決方案
半導(dǎo)體制造中的真空技術(shù)基礎(chǔ)
萊寶真空泵作為半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備之一，為整個(gè)產(chǎn)業(yè)提供了關(guān)鍵的真空環(huán)境支持。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，真空技術(shù)主要實(shí)現(xiàn)以下功能：
- 創(chuàng)造無(wú)污染環(huán)境（避免氧化和雜質(zhì)摻入）
- 控制氣體流動(dòng)和化學(xué)反應(yīng)
- 實(shí)現(xiàn)精確的材料沉積和蝕刻
- 保證工藝重復(fù)性和穩(wěn)定性
1. 薄膜沉積工藝
(1) 化學(xué)氣相沉積(CVD)
- 應(yīng)用場(chǎng)景：介電層(SiO?、SiN)、多晶硅、金屬層的沉積
- 技術(shù)要點(diǎn)：萊寶渦輪分子泵提供10??~10?? mbar的高真空環(huán)境
- 設(shè)備優(yōu)勢(shì)：干式運(yùn)行避免油污染，確保薄膜純度和均勻性
(2) 物理氣相沉積(PVD)
- 濺射鍍膜：用于Al、Cu、Ti等金屬層的沉積
- 蒸發(fā)鍍膜：高真空環(huán)境(10?? mbar)下的金屬蒸鍍
- 萊寶解決方案：MAGiNTEGRA系列渦輪分子泵提供穩(wěn)定真空基礎(chǔ)
2. 離子注入工藝
- 工藝要求：10??~10?? mbar的工作壓力
- 萊寶設(shè)備：RUVAC WH系列羅茨泵與干式前級(jí)泵組合
- 技術(shù)優(yōu)勢(shì)：快速抽空能力，精確控制注入環(huán)境
3. 光刻技術(shù)
(1) EUV光刻
- 特殊需求：極高真空(10?1? mbar)和氫氣處理能力
- 萊寶創(chuàng)新：專門開(kāi)發(fā)的氫氣兼容渦輪分子泵
- 性能指標(biāo)：抽速達(dá)2000 m3/h，滿足7nm以下制程需求
(2) 傳統(tǒng)光刻
- 真空應(yīng)用：光刻膠處理、掩模版清潔
- 設(shè)備選擇：SCROLLVAC干式渦旋泵
4. 蝕刻工藝
- 等離子蝕刻：精確控制反應(yīng)氣體和副產(chǎn)物排除
- 深硅蝕刻：高深寬比結(jié)構(gòu)的刻蝕控制
- 萊寶方案：COBRA干式泵耐腐蝕設(shè)計(jì)，處理活性氣體
1. 3D封裝技術(shù)
- TSV硅通孔工藝：真空環(huán)境下的深孔刻蝕和填充
- 晶圓鍵合：真空環(huán)境下的分子級(jí)鍵合
2. 倒裝芯片封裝
- 底部填充：真空輔助毛細(xì)流動(dòng)
- 回流焊：真空環(huán)境減少焊料氧化
1. 第三代半導(dǎo)體制造
- GaN外延生長(zhǎng)：MOCVD設(shè)備的真空系統(tǒng)
- SiC器件制造：高溫工藝的真空解決方案
2. 存儲(chǔ)器制造
- 3D NAND：多層堆疊結(jié)構(gòu)的真空沉積和蝕刻
- DRAM：高深寬比電容結(jié)構(gòu)的形成
1.潔凈度保障
- 全干式運(yùn)行設(shè)計(jì)
- 零油蒸汽反流
- 適合Class 1潔凈室
2. 工藝穩(wěn)定性
- ±1%的壓力控制精度
- 快速響應(yīng)氣體負(fù)荷變化
- 24/7連續(xù)運(yùn)行可靠性
3. 能效表現(xiàn)
- 變頻驅(qū)動(dòng)節(jié)能技術(shù)
- 熱量回收系統(tǒng)
- 比傳統(tǒng)泵節(jié)能30-40%
4. **智能化功能**
- 實(shí)時(shí)振動(dòng)監(jiān)測(cè)
- 預(yù)測(cè)性維護(hù)系統(tǒng)
- 遠(yuǎn)程診斷接口
1. 面向2nm及以下制程
- 更高抽速的分子泵研發(fā)
- 極低振動(dòng)設(shè)計(jì)
- 超高真空穩(wěn)定性控制
2. 新型存儲(chǔ)技術(shù)支持
- MRAM制造工藝適配
- 相變存儲(chǔ)器真空需求
3. 綠色制造
- 進(jìn)一步降低能耗
- 減少全生命周期碳足跡
萊寶真空泵通過(guò)持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新，為半導(dǎo)體工業(yè)提供從成熟制程到先進(jìn)工藝的全方位真空解決方案，成為半導(dǎo)體制造裝備鏈中不可或缺的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
