磁力真空退火爐 磁場真空合金爐

數(shù)量(臺) 價格
99 888.00元/臺
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  • 發(fā)布日期：2025-05-08
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第1年

青島晨立電子有限公司

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詳細參數(shù)
品牌晨立型號CL
自動化程度自動加工定制是
外形尺寸其他

產品詳情

用途：

該設備用于半導體芯片生產工藝過程中，在可控磁場中實現(xiàn)真空退火、真空合金、真空晶化等工藝。該系統(tǒng)具有精確的磁場強度和溫度控制系統(tǒng)和高真空系統(tǒng)。

主要技術參數(shù)：

◆結構型式：臥式熱壁型

◆工作溫度范圍：500度，700度，1100度。

◆恒溫區(qū)長度及精度：±0.5℃/800mm

◆氣體流量設定精度:±1％F.S

◆氣路系統(tǒng)氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆工藝均勻性:≤±5％

◆控制方式： 工業(yè)微機控制

◆真空度： 5*10-4 Pa

◆記錄工藝曲線數(shù)量及工藝步數(shù)不受限制


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