harmonic光刻機系統(tǒng)諧波CSF-25-160-2A-GR

數(shù)量(臺) 價格
100 333222.00元/臺
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上海浜田實業(yè)有限公司

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詳細參數(shù)
品牌HarmonicDrive型號CSF-25-160
類型圓柱齒輪減速器載荷狀態(tài)中等沖擊載荷
傳動比級數(shù)單級軸的相對位置立式加速器
傳動布置形式擺線式加工定制
樣品或現(xiàn)貨現(xiàn)貨齒面硬度軟齒面
布局形式三環(huán)式用途減速機
輸入轉(zhuǎn)速3000rpm額定功率111kw
輸出轉(zhuǎn)速范圍47.6rpm許用扭矩22N.m
使用范圍軍工減速比4554
產(chǎn)地日本

產(chǎn)品詳情

     曝光過程包括:聚焦、對準(zhǔn)、曝光、步進和重復(fù)以上過程。

    光學(xué)曝光技術(shù)經(jīng)歷了不同的發(fā)展階段。harmonic光刻機系統(tǒng)諧波CSF-25-160-2A-GR按照掩模版與硅片的位置關(guān)系區(qū)分,從最初的接觸式曝光,發(fā)展到接近式曝光,直到現(xiàn)在的投影式曝光。曝光光源主要使用紫外光、深紫外光、harmonic光刻機系統(tǒng)諧波CSF-25-160-2A-GR極紫外光,現(xiàn)今最常用的是:汞燈和準(zhǔn)分子聚光光源。

    光刻設(shè)備的發(fā)展和使用經(jīng)歷了五個不同階段,分別是:接觸式光刻機、接近式光刻機、掃描投影光刻機、分步重復(fù)光刻機、步進掃描光刻機。

   曝光與對準(zhǔn)過程主要由光刻機完成。harmonic光刻機系統(tǒng)諧波CSF-25-160-2A-GR光刻機造價高昂,是非常復(fù)雜的系統(tǒng),涉及的技術(shù)也非常多。光刻機是芯片生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備,也是電子制造的核心技術(shù)設(shè)備

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