產(chǎn)品詳情
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專為芯片退火工藝研發(fā)設(shè)計(jì)，核心用于半導(dǎo)體芯片退火過程中的溫度精準(zhǔn)控制，通過導(dǎo)熱油循環(huán)維持退火所需的穩(wěn)定溫度環(huán)境，適配邏輯芯片、功率芯片等各類半導(dǎo)體器件的退火需求。設(shè)備支持在 0-40℃環(huán)境溫度、50%-80% 相對(duì)濕度工況下每周 7 天、每天 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，可避免溫度波動(dòng)導(dǎo)致芯片退火不充分、性能不均等問題，保障芯片退火質(zhì)量與電氣性能一致性。
控溫范圍覆蓋 45℃~180℃，可精準(zhǔn)匹配不同芯片退火所需溫度區(qū)間；常規(guī)溫控精度達(dá) PID±1℃，可選配 ±0.1℃高精度版本，能嚴(yán)格控制退火過程中的溫度偏差，避免溫度波動(dòng)影響芯片晶格修復(fù)效果。采用邁浦特特定PLC 控溫系統(tǒng)，內(nèi)置 9 組獨(dú)立 PID 溫區(qū)段控制邏輯，可實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)比例帶、積分時(shí)間與微分時(shí)間，還支持進(jìn)出口溫度相互切換控溫，適配芯片退火不同階段的溫控需求。同時(shí)支持 100 組可編工藝程序，每組含 100 條步驟，可預(yù)設(shè)不同芯片的退火溫度曲線，一鍵調(diào)用減少人工調(diào)試時(shí)間。
采用直接加熱方式，加熱功率 6~720kW，可根據(jù)芯片退火規(guī)模靈活選擇；加熱管為 SUS316L 不銹鋼材質(zhì)，法蘭型連接且搭配陶瓷絕熱設(shè)計(jì)，導(dǎo)熱效率高且耐腐蝕，能快速達(dá)到退火所需溫度并穩(wěn)定維持。配備邁浦特定制油泵，耐溫 - 40℃~320℃，軸承采用日本 NSK 軸封，揚(yáng)程 28~100m、流量 6.5~250m3/h，可確保導(dǎo)熱油循環(huán)均勻；主管路系統(tǒng)為碳鋼材質(zhì)，經(jīng)無縫氬弧焊接工藝處理，管道內(nèi)導(dǎo)熱油容量 8L~400L，避免局部溫度失衡，保障芯片退火過程溫度穩(wěn)定。
配備 7 寸邁浦特定制觸摸顯示屏，實(shí)時(shí)顯示溫度數(shù)據(jù)與曲線，設(shè)定溫度與實(shí)際溫度分別顯示，操作直觀易懂，便于工作人員實(shí)時(shí)掌握退火溫度狀態(tài)。支持 USB 數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，可選擇時(shí)間周期導(dǎo)出溫度數(shù)據(jù)，便于芯片退火工藝追溯與質(zhì)量分析；通訊方式標(biāo)配 Modbus RS485，還可定制其他通訊方式，能與芯片生產(chǎn)線 DCS 系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)智能化生產(chǎn)監(jiān)控與管理。
具備 10 重安全保護(hù)裝置，全方位保障設(shè)備與芯片退火過程安全：當(dāng)循環(huán)導(dǎo)熱油溫度超過上限時(shí)，自動(dòng)切斷電源，防止芯片過熱損壞；電源相位檢測(cè)防止泵浦反轉(zhuǎn)并報(bào)警，避免循環(huán)中斷導(dǎo)致溫度驟變；熱繼電器保護(hù)泵浦超載，液位開關(guān)檢測(cè)油位防止缺油，均能及時(shí)報(bào)警提示；管路阻塞時(shí)通過 BY-PASS 泄壓回路保護(hù)泵浦，系統(tǒng)壓力異常自動(dòng)停止加熱；還具備手動(dòng) / 自動(dòng)排氣、短路保護(hù)及緊急停止按鈕，可應(yīng)對(duì)多種突發(fā)狀況，減少因設(shè)備故障導(dǎo)致的芯片退火失敗。
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電源配置：需使用三相 380V 50Hz + 地線，建議采用 3xmm2+1xmm2 銅芯電纜線（由需方自備），確保電源穩(wěn)定，避免電壓波動(dòng)影響控溫精度。
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管路連接：機(jī)器熱油出入口建議采用硬管連接，必要時(shí)可配耐高溫 350℃不銹鋼軟管（長度不超過 3 米，由需方自備）并加保溫管，減少熱量損耗；冷卻水管路需使用高壓耐熱水管（耐熱約 200℃，由需方自備），接口尺寸可定制。
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介質(zhì)要求：需使用干凈導(dǎo)熱油作為循環(huán)介質(zhì)，避免雜質(zhì)影響循環(huán)穩(wěn)定性；膨脹箱需按要求加注導(dǎo)熱油至定位液位，保障系統(tǒng)循環(huán)正常。
設(shè)備可在 0-40℃工作環(huán)境溫度、50%-80% 相對(duì)濕度、±4℃/h 溫差工況下穩(wěn)定運(yùn)行，無需特殊改造芯片生產(chǎn)車間環(huán)境，機(jī)架采用碳鋼材質(zhì)（板厚 2mm，噴塑處理），防腐蝕且易清潔，可直接融入半導(dǎo)體生產(chǎn)潔凈環(huán)境。
自設(shè)備送達(dá)需方廠區(qū)起 1 年內(nèi)，設(shè)備在正常使用情況下出現(xiàn)故障，供方提供免費(fèi)維修服務(wù)，所需配件由供方免費(fèi)提供，不收取任何費(fèi)用；保修期內(nèi)若因人為操作失誤或天災(zāi)導(dǎo)致設(shè)備損壞，供方僅收取交通費(fèi)和零件費(fèi)；保修期外維修，供方收取交通費(fèi)、人工費(fèi)及零件費(fèi)。
設(shè)備發(fā)生故障時(shí)，需方技術(shù)人員可先電話通知供方售后服務(wù)人員，詳細(xì)描述故障情況，供方售后服務(wù)人員將優(yōu)先通過電話指導(dǎo)排障；若故障無法通過電話解決，供方將在 24 小時(shí)內(nèi)安排人員上門維修，減少設(shè)備停機(jī)對(duì)芯片退火生產(chǎn)的影響。
可根據(jù)芯片退火的特殊需求定制配件品牌（如泵浦、閥門等），也可定制遠(yuǎn)程控制功能（如 PROFINET、PROFIBUS）、加大換熱面積、增加多點(diǎn)溫控監(jiān)測(cè)等特殊功能，還可定制熱媒介進(jìn)出口管徑，全方位貼合不同芯片退火場(chǎng)景的個(gè)性化需求。
