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晶圓級超潔凈高低溫一體機測試：-65℃~300℃±0.1℃精準控溫

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第1年

邁浦特機械（四川）有限公司

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詳細參數(shù)
品牌邁浦特MAIPT型號MPTD
產(chǎn)品別名冷熱一體機產(chǎn)品用途控溫
適用原料硅油（介質(zhì),間接加熱）電動機功率根據(jù)客戶要求定制
規(guī)格其他重量175~2251kg
是否進口否加工定制是
產(chǎn)地其他

產(chǎn)品詳情

邁浦特機械高低溫一體機針對晶圓測試的微振動與污染敏感性問題，設(shè)備采用雙循環(huán)隔離設(shè)計：主循環(huán)（硅油）與晶圓載臺循環(huán)（去離子水）通過鈦合金板式換熱器隔離，杜絕油污染風險。制冷系統(tǒng)采用復(fù)疊式壓縮技術(shù)：高溫級壓縮機（R404a）預(yù)冷介質(zhì)至-40℃，低溫級（R23）進一步降溫至-65℃，通過比例調(diào)節(jié)閥按需輸出冷量，避免溫度過沖。

恒溫階段依托動態(tài)補償算法：PLC實時比對載臺溫度，自動調(diào)節(jié)加熱器（石英管）與制冷功率，抵消激光器發(fā)熱影響。例如在射頻芯片測試中，系統(tǒng)維持26GHz~110GHz信號穩(wěn)定性，溫度波動≤0.1%。安全設(shè)計包括三重防護：液氮蓄冷罐應(yīng)急供冷（主壓縮機故障時）、吸附式干燥機維持露點≤-60℃防結(jié)霜、氣墊減震基座隔絕振動

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